深度*行业*半导体设备行业跟踪：从上海积塔的设备采购 看

3 月30 日，上海积塔半导体特色工艺生产线正式投片。积塔半导体特色工艺生产线项目是上海市重大工程，总投资359 亿元分两期完成，第一期是月产能6 万片的8 英寸特色工艺产线，投资89 亿元，第二期是月产能5 万片的12 英寸特色工艺产线，投资270 亿元。

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